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ARC8-MS4工模具真空离子镀膜机

详细信息

ARC8-MS4 是针对工模具开发的真空镀膜机,主要应用于滚齿刀、丝锥、铣刀等,可以镀制氮化钛、氮化铝钛、氮化铝钛铬等膜层。


具体技术规格如下:




真空室尺寸?1000mm * H1000mm
极限真空度1.0*10-4Pa
压升率0.33Pa/hr(常态)
冷却水6ton/hr
占据空间2*2*1m3
真空室进口304不锈钢,双层内衬,五年质保
抽气系统进口莱宝分子泵+莱宝罗茨泵+莱宝粗抽泵
真空检测莱宝全量程真空计 
流量控制Brooks/MKS/AE/可选
转架可拉出转架
磁控溅射4支柱状溅射靶
阴极电弧

8套复合磁场阴极弧 (靶材规格150*20)

电源美国AE品牌偏压 ,霍廷格中频电源
加热系统最高500度,3根热电偶监测
冷却水循环系统配日本SMC水流开关,智能控制
电气元件日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。



ARC8-MS4工模具真空离子镀膜机(图1)

ARC8-MS4工模具真空离子镀膜机(图2)

ARC8-MS4工模具真空离子镀膜机(图3)


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