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复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机

详细信息

复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机 是针对小型模具、刀具、铣刀、钻头等产品开发的真空镀膜机,采用8个直径150mm的弧源组成,磁场设计为永磁和电磁复合磁场,膜层组织细腻,颗粒小,弧斑运动速度更快、实现高效沉积。

具体技术规格如下:



真空室尺寸?1100mm * H1000mm
极限真空度3.0*10-4Pa
压升率0.33Pa/hr(常态)
冷却水6ton/hr
占据空间3*3*2.5m3
真空室304不锈钢,单层内衬,五年质保
抽气系统进口分子泵+Leybold粗抽泵+罗茨泵
真空检测英福康CDG045D薄膜规
流量控制Brooks/MKS/AE/汇博隆可选
转架可拉出下转架
磁控溅射平面溅射靶安装孔位两个(可选配)
阴极电弧

4组(8套)(靶材规格150*20)

偏压电源德国霍廷格偏压Huettinger Bias 36KW  
加热系统最高500度,3根热电偶监测
冷却水循环系统配日本SMC水流开关,智能控制
电气元件日本三菱PLC、端子、施耐德等空开、接触器。


复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机(图1)

复合磁场ARC8电弧工模具真空镀膜机(图2)

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