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NewArc复合电弧蒸发技术

  NewArc复合电弧蒸发技术是在传统电弧蒸发技术的基础上进行改进,其效果对比传统电弧优点如下:


        ①采用永磁和电磁的复合磁场驱动,弧斑移动更快,弧斑更细碎,有效抑制“微液滴”

        ②通过电磁场电压和频率的变化,能够控制弧斑的运动,使得靶材烧蚀更加均匀,靶材利用率高

        ③复合磁场能够将等离子体推向被镀工件,增强了工件附近的等离子密度,改变了沉积反应环境

        ④可实现对涂层微观组织结构的有效调控,大幅度提高涂层的综合性能。


NewArc复合电弧蒸发技术(图1)

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